【MEMS事業への取り組み】

　PlanOptik社は、ウエハテクノロジーのリーディングカンパニーです。今日、コンシューマーエレクトロニクスや自動車、航空・宇宙技術、化学・医薬品分野への応用が目覚ましいMEMSにとって、当社の能動素子は欠かせない存在となっています。ガラス、ガラス・シリコン化合物、水晶などから製造する当社のウエハは、最大直径300mmまで対応可能で、自社独自開発によるMDF研磨プロセスによりサブナノメートル・オーダーの高精度面を実現しています。特定の用途向け、あるいは複雑な素材の組み合わせといったご要望にもお応えしながら、公差を最小限に抑えたウエハを提供させていただきます。

　PlanOptik社は、光学、電子、化学的機能をウエハ上に盛り込む技術において確かな経験と実績があります。ご要望に応じたウエハを開発・製造し、構成要素や素材を組み合わせることによってお客様のニーズに沿った機能を実現します。当社の製品は世界中でご愛顧いただいており、量産にも対応可能です。

【出展内容】

• ウエハ・パッケージング
  
• 基板ウエハ
  
• TGVウエハ
  
• 流路コンポーネント
  
• キャリア・ウエハ
  
• 水晶ウエハ
  
• マイクロレンズ