• ASEシリーズ(Predeus、Pegasus、Pegasus300、SRE)
• SiO2犠牲層エッチング装置：　SLE-Oｘ、米国SPTS社uEtch
• Si犠牲層エッチング装置：　米国XACTIX社Xetchシリーズ(X4、e1)
• 化合物・酸化膜エッチング装置：　APS
• SiCエッチング装置：　APS
• プラズマ成膜装置：　PE-CVD、英国SPTS社Delta
• 金属膜成膜装置(PVD)：　英国SPTS社Sigma
• 熱処理装置：　米国SPTS社AVP/RVP　等のパネル展示

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